上海世禹精细设备股份有限公司请求晶圆级封装的对位体系及办法专利使对位愈加精确

  金融界2024年11月4日音讯，国家知识产权局信息数据显现，上海世禹精细设备股份有限公司请求一项名为“晶圆级封装的对位体系及办法”的专利，公开号 CN 118888500 A，请求日期为2024年7月。

  专利摘要显现，本发明供给了一种晶圆级封装的对位体系及办法，包含：双视界镜头相机，安装在晶圆植球机的Stage 渠道和钢网之间；XY 方向自由度的模组驱动双视界镜头相机在 XY 方向上移动至预订的 Mark 点方位；光源操控办理体系包含至少两个独立操控的光源，用于照亮晶圆上的 Mark 点和钢网上的 Mark 点，在每次对位辨认时，相机视界内仅包含单一方针的 Mark 点；图画处理与对位模块接纳双视界镜头相机拍照的图画，经过图画处理算法辨认 Mark 点，进行理论运算与相机实践抓取验证相结合的对位操作，对晶圆和钢网进行对位。本发明不只削减视觉抓取犯错的概率，也可以使对位愈加精确只需在制造模板的阶段将方位登录精确在后续的对位时，比较其他对位方法，愈加精确，更贴近于理论值。

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